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硅烷

硅烷

一、产品介绍

    硅烷在常温常压下为无色、有毒、非常活跃的压缩气体。在室温下着火,在空气或卤素气体中发生爆炸

性燃烧。即使用其它气体稀释,如果浓度不够低.仍能自燃。硅烷在氩气中含2%、氮气中含2.5%、氢气中含

1%时,它仍能着火。硅烷浓度在小于1%时不燃,大于3%时自燃,1%~3%时可能燃烧。硅烷是强还原剂,与重

金属卤化物激烈反应,与氯、溴发生爆炸性反应,与四氯化碳激烈反应。因此对硅烷不能使用氟里昂灭火剂。

硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不与润滑油、脂肪反应。对几乎所有的金属无腐蚀性。有时,

玻璃中的碱成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空气也可发生爆炸。硅烷广泛用于硅的外延生

长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太阳能电池,光导纤维,有色玻璃制造,化学气相淀积。

中文名:硅烷/四氢化硅

分子式:SiH4

英文名:Silane

相对分子量:32.12

CAS No:7803-62-5

危险性类别:第2.1类

UN No:2203

溶解性:溶于水

熔点:-185.0℃

沸点:-111.5℃

临界温度:-3.4℃

液体密度(-185℃):711kg/m3

临界压力:4.84MPa

气体密度(0℃,100kPa):1.42kg/m3

 

二、技术指标

检验项目

指 标

硅烷(v/v)%                     ≥

99.9995

99.9999

水分ppmv                        ≤

0.2

0.1

氮ppmv                         ≤

0.2

0.1

氧 氩ppmv                       ≤

0.4

0.1

CO CO2ppmv                      ≤

0.4

0.1

氢ppmv                         ≤

30

20

氦ppmv                         ≤

10

10

总碳ppmv                        ≤

0.2

0.1

氯化物ppmv                      ≤

0.2

0.1

甲硅醚ppmv                      ≤

0.2

0.1

乙硅烷ppmv                      ≤

0.2

0.1

三、包装规格(钢瓶、Y瓶)

容积(升)

47

440

充装量(公斤)

10

120

阀门型号

CGA350/DISS632

CGA350/DISS632

*可根据客户要求提供其它规格的包装。

四、硅烷的应用 
    高纯硅烷跟
高纯氨气一起用于生产太阳能薄膜电池将硅分子附着于电池表面

    跟高纯乙烯一起用于LOW-E镀膜玻璃的生产

    高纯硅烷应用于大规模集成电路的外延生长工艺中用作硅源

    应用于国防、军事工业的研发、生产

    硅烷在平板显示生产中也有重要的用途

    用于低温二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD

五、注意事项

    使用硅烷的工作场所要通风,保持室内空气干燥。硅烷装置要严格密封,避免和空气、水分相接触,为

此,用气装置在使用前要用惰性气体置换里面的空气后抽真空,这样反复进行置换和抽真空,一定要彻底清

除系统中的空气和水分。装置使用以后,也要用惰性气体置换清洗系统中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少

量硅烷泄漏时,从氧化硅粉末的折出中也可以得知。钢瓶要存放在阴凉干燥通风良好之处,要远离热源和氯、

溴等氧化剂。工作场所要配备足够的防护用品及应急用品。硅烷本身无腐蚀性,可以使用碳钢、不锈钢、铜、

黄铜、蒙乃尔、耐蚀镍基合金,也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、尼龙、三氟氯乙烯树脂、聚乙

烯、聚酯、石英玻璃,不能用铅、橡胶、脂肪、润滑油、玻璃,凡是可燃性的有机高分子材料应该避免使用。

当硅烷大量泄漏时,紧接着就要着火,所以无法用灭火器灭火,但是可以控制火势,使火灾不向周围蔓延。

燃烧时辐射热不太高,所以应尽可能去关闭阀门以止住气体的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。废气可用

水或碱吸收,或者在特殊燃烧器中燃烧成SiO2之后用专门的过滤器捕捉。储存于阴凉、通风的库房。远离火

种、热源。库温不宜超过40℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理

设备。密闭操作,局部排风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防

毒面具(半面罩)。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装

轻卸,防止钢瓶及附件破损。钢瓶瓶颈上有钢瓶检验时间,不符合要求的钢瓶应委托菲利尔特种气体等供应

商到有资质的压力容器检验单位进行检验。严禁使用过期钢瓶。

 五、硅烷的操作说明

    用一个减压器或独立的控制阀安全地从气瓶内释放硅烷。用单向阀来防止倒流。不要用明火或其它附近

的热源加热钢瓶的任何部分。
    使用防火花工具。不要试图对装有硅烷的钢瓶进行修理、调节或其他改动。
    用氢离子检测器监测硅烷的修理和在空气中的扩散,用红外/紫外监测器监测火灾 。所有的监测器都应

有内锁,一旦发现问题立即自动切断硅烷气源。
    如果出现故障或其他操作问题,请立即与最近的分销商联系。
    硅烷系统中不允许使用填压阀,只允许使用非填压的膜阀和波纹管阀。在其分配系统中应安装过流阀或

过流开关。这样可以在下游管线发生爆炸时切断气源。这个开关阀应安装得离气源越近越好。如有可能应避

免单独一个人操作钢瓶。所有的操作都应这样进行,一旦发生泄漏,处理紧急情况的人员可以立即赶到。

    监测系统应装备备用或应急电源。必须有遥控紧急开关,必要时可关闭硅烷气源。
    用合适的手推车来移动容器,保证气瓶在使用的全过程中为固定状态。不可将工具(如:扳手,螺丝刀,

等) 插入阀盖内。 否则会损坏阀门并引起泄漏。
    一旦钢瓶与吹扫和钝化过的系统连接好,应缓慢仔细地打开钢瓶阀。如果使用者在操作气瓶阀时有困难,

需停止使用,并与供应商联系。
    使用可调节的带扳手来打开过紧或生锈的阀盖。所有管路和相关设备接地。电器设备必须防火花和防爆。


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