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六氟乙烷

六氟乙烷

一、产品介绍       

一种无色、无味、无毒、不燃性气体,是烃类化合物乙烷所对应的全氟化合物

中文名:六氟乙烷

分子式:C2F6

英文名:hexafluoroethane

相对分子量:138.01

CAS No:76-16-4

危险性类别:第2.2类

UN No:2193

水溶性:难溶

熔点:-100.7℃

沸点:-78.2℃

临界温度:19.65℃

液体相对密度(水=1):1.112

临界压力:  2.98MPa

气体相对密度(空气=1):4.766

 二、技术指标

检验项目

指标

六氟乙烷(v/v)%                  ≥

99.999

氮    ppmv                     ≤

4

氧    ppmv                     ≤

1

一氧化碳ppmv                     ≤

1

二氧化碳ppmv                     ≤

1

其它氟碳化合物ppmv               ≤

5

水      ppmv                   ≤

3

总酸度(以HF计)ppmv             ≤

0.1

三、包装规格

容积(升)

43

470

充装量(公斤)

40

400

阀门型号

CGA660

DISS716

*可根据客户要求提供其它规格的包装。

四、六氟乙烷的应用 

   微电子工业中用于等离子蚀刻气体,以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。

五、注意事项

    储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库房温度不宜超过50℃;应与易(可)燃物、氧化

剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作

规程。密闭操作,局部排风。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。本品可引起快速窒息,

可视为无毒气体,但与可燃气体一同燃烧时,分解产生有毒的氟化物,发现中毒时,应立即将受害者

转移到无污染区,必要时施以人工呼吸,请医生诊治。瓶装气体产品为高压液化气体,使用时应经减

压降压后方可使用,每瓶气体在使用到尾气时,应保留瓶内余压在0.3MPa,最小不得低于0.2MPa余压,

将瓶阀关闭,以保证气体质量和使用安全。勿爆晒、勿重抛、勿撞击,严禁明火烘烤气瓶,严禁野蛮

装卸。钢瓶瓶颈上有钢瓶检验时间,不符合要求的钢瓶应委托菲利尔特种气体等供应商到有资质的压力

容器检验单位进行检验。严禁使用过期钢瓶。


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