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四氟化碳

四氟化碳

一、产品介绍           

    四氟化碳在常温下是无色、无臭、不燃的易压缩性气体,是性质非常稳定的无毒物质,不易溶于水,

是一种温室气体。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体。

中文名:四氟化碳/四氟甲烷

分子式:CF4

英文名:Carbon   tetrafluoride

相对分子量:88

CAS No:75-73-0

危险性类别:第2.2类不燃气体

UN No:1956

溶解性:不溶于水

熔点:-183.6℃

沸点:-128.0℃

临界温度:-45.67℃

液体密度(-128℃):1603kg/m3

临界压力:3.73MPa

气体密度(0℃,101.325kPa):3.946kg/m3

 

二、  技术标准

检验项目

指标

四氟化碳(v/v)%                  ≥

99.999

99.99

氮ppmv                         ≤

5

40

氧ppmv                         ≤

2

20

一氧化碳ppmv                     ≤

1

10

二氧化碳ppmv                     ≤

1

10

六氟化硫ppmv                     ≤

1

5

总酸度(以HF计)ppmv             ≤

0.5

0.5

TFC ppmv                       ≤

1

10

水ppmv                         ≤

1

1

总杂质含量ppmv                   ≤

10

100

三、  包装规格(钢瓶、Y瓶)

容积(升)

40

47

470

气体重量(公斤)

26

30

300

充装压力(MPa)

9--13

9--13

9--13

阀门型号

CGA580

CGA320

CGA320

*可根据客户要求提供其它规格的包装。

四、四氟化碳的应用

    四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷

硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、

泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。四氟化碳还可用于金属冶

炼和塑料行业等,有时会用作低温冷却剂。

五、注意事项

    储存于阴凉、通风仓库内。仓库温度不宜超过50℃。远离火种、热源,防止阳光直射。应与易燃或可

燃物分开存放。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,

并进行隔离,严格限制出入,建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服,尽可能切断泄

漏源,合理通风,加速扩散。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。四氟化碳一般认为是惰性无毒物

质,在高浓度下是窒息剂,其毒性不及四氯化碳。 四氟化碳为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈

钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4

分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、

铝、铜、青铜、黄铜、银。可以用聚四氟乙烯,环氧树脂和醋酸纤维。瓶装气体产品为高压充装气体,使

用时应经减压降压后方可使用,每瓶气体在使用到尾气时,应保留瓶内余压在0.3MPa,最小不得低于0.2MPa

余压,将瓶阀关闭,以保证气体质量和使用安全。勿爆晒、勿重抛、勿撞击,严禁明火烘烤气瓶,严禁野蛮

装卸。钢瓶瓶颈上有钢瓶检验时间,不符合要求的钢瓶应委托菲利尔特种气体等供应商到有资质的压力容器

检验单位进行检验。严禁使用过期钢瓶。

 


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