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六氟化钨

六氟化钨

一、产品介绍

    在钨的氟化物中,WF6是唯一稳定并被工业化生产的品种。六氟化钨在不同的温度下为一种无色、

无嗅的气体或透明的液体,其分子在常温下具有对称的正八面体结构。六氟化钨是一种强氟化剂,除

蒙乃尔合金不锈钢外,在室温下能使许多金属氟化。在干燥状态时对玻璃的腐蚀较弱,但在湿气中能

迅速反应。六氟化钨与离子型卤化物反应可形成配位化合物,在高温下可被氢还原为。六氟化钨遇水

很快水解,迅速生成氟化氢(HF) 和三氧化钨,因此六氟化钨在空气中的毒性与HF基本相同。

中文名:六氟化钨

分子式:WF6

英文名:Tungsten   hexafluoride

相对分子量:297.8

CAS No:7783-82-6

危险性类别:第2.3类有毒气体

UN No:2196

溶解性:溶于多数有机溶剂

熔点:2.3℃

沸点:17.2℃

临界温度:169.85℃

液体密度(水=1,15℃):3441kg/ m3

临界压力:4.27MPa

气体密度(1atm,21℃):13.29kg/m3 

二、技术指标

检验项目

指标

六氟化钨(v/v)%                    ≥  

99.999

氮      ppmv                     ≤

1.0

氧 氩    ppmv                     ≤

0.5

一氧化碳  ppmv                     ≤

0.5

二氧化碳  ppmv                     ≤

0.5

四氟化碳  ppmv                     ≤

0.5

三氟化氮  ppmv                     ≤

0.5

六氟化硫  ppmv                     ≤

0.5

四氟化硅  ppmv                     ≤

0.5

总酸度(以HF计)ppmv               ≤

5

三、包装规格

容积(升)

10

20

40

充装量(公斤)

12.5

25

50

阀门型号

CGA638

CGA638

CGA638

*可根据客户要求提供其它规格的包装。

四、六氟化钨的应用 
    主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料,特别是用它制成的WSi2可用

作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。通过混合金属的CVD工艺制得钨和铼的复合涂层,可用于X-射线的

发射电极。还可用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。
  WF6还有许多非电子方面的应用,例如通过CVD技术使钨在钢的表面上生成坚硬的碳化钨可用来改善钢

的表面性能,它还可用于制造某些钨制部件,用作氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。

五、注意事项

    泄露应急处理:迅速撤离泄漏污染区人员至安全区,禁止无关人员进入污染区,应急处理人员戴正压

自给式呼吸器,穿厂商特别推荐的化学防护服(完全隔离)。在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或

扩散),但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。勿使水进入包装容器内,抽排(室内)或强力通风(室外)。

漏气容器不能再用,且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。钢瓶瓶颈上有钢瓶检验时间,不符合要求的

钢瓶应委托菲利尔特种气体等供应商到有资质的压力容器检验单位进行检验。严禁使用过期钢瓶。 

六、急救措施

皮肤接触:脱去污染的衣着,用流动清水冲洗。在灼伤处涂敷氧化镁甘油软膏或稀氨水。就医。

眼睛接触:立即翻开上下眼睑,立即用大量流动清水彻底冲洗至少15分钟。就医。

吸入:脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难时给输氧。呼吸停止时,立即进行人工呼吸。立即就医。

食入:误服者用水漱口,饮牛奶或蛋清,立即就医。

灭火方法:泡沫、二氧化碳干粉

 


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